Регуляторы давления газа

Качественные регуляторы с широкими возможностями конфигурирования

Серия PC200

Регулятор давления серии PC200D оснащен датчиком давления с высоким разрешением, обеспечивающим высокую точность измерения давления и быстрый отклик. Поддерживает регулировку давления вверх и вниз по потоку, обеспечивает поддержание и измерение избыточного или абсолютного давления. Разработан для процессов производства полупроводников.

Основные особенности

  • Преобразователь высокого разрешения обеспечивает высокую точность измерения
  • Стабилизация давления происходит менее чем за 1 секунду и обеспечивает быстрый ответ
  • Возможность выбора диапазона давления и потока газа, различных интерфейсов и режима управления и подключения аналогового и цифрового сигнала
  • Возможность подключения различных источников питания (+24 В или 15 В).
  • Низкая потребляемая мощность и низкий ток
  • Регулирование вверх и вниз по потоку
  • Изменение направления потока через программное обеспечение меняет управление параметрами переключения режима управления напряжением.

По всем вопросам приобретения и технической поддержки просим обращаться по электронной почте
sales@mfcsevenstar.ru

Технические характеристики

Тип

PC200

PC210

Тип давления

Абсолютное давление, избыточное давление

Диапазон полной шкалы

Абсолютное давление: 2000Торр, 300КПа,

Избыточное давление: 500Кра;

100Торр, 200Торр, 1000Торр,

300Кпа (абс)

Давление испытания

3 МПа

Диапазон потока

200 см3/мин;1, 2, 5, 10, 15, 50 л/мин

200 см3/мин;1, 5, 20 л/мин

Режим управления

вверх по потоку, вниз по потоку

Температурный коэффициент

Нулевой: ≤±0.02% П.Ш./oC

Диапазон: ≤±0.4% показания /oC

Нулевой: ≤±0.04% П.Ш./oC

Диапазон: ≤±0.4% показания /oC

Разрешение давления

0.1 торр

Точность управления давлением

±0,5% П.Ш.

Рабочая температура

(5÷50) oC

(10÷50) oC

Варианты соединения с газовой линией

VCR ¼”; VCR 3/8”

VCR ¼”; VCR ½ ”

Тип клапана

Нормально закрытый, нормально открытый

Уровень течи

<1×10-10 атм. см3/сек (He)

<1×10-9 атм. см3/сек (He)

Уровень течи при закрытом клапане

< 1.0 % П.Ш. отверстия (при подаче на входа азота 25 psig)

< 1.0 % П.Ш. отверстия или 1 см3/мин
(перепад давления 1атм)

Варианты электрического питания

+15÷+24 В постоянного тока или

±8÷±16 В постоянного тока (только для DB-9)

±8÷±16 В постоянного тока

Варианты электрического разъема и интерфейсы

DeviceNet, DB-9

DB-15


Скачать

Top