Серия DS300

Регулятор расхода и давления газа DS300 разработан специально для производства полупроводников и полупроводникового оборудования. Он применяется для травления, осаждения и других процессов при производстве полупроводников. В DS300 используется технология, основанная на принципе поддержания давления и высокоточного управления пьезоэлектрическими клапанами, что обеспечивает малый дрейф нуля, высокую точность управления, быстрый отклик и нечувствительность к колебаниям давления. Все внутренние поверхности, контактирующие с газом, изготовлены из нержавеющей стали. Состояние поверхности соответствует стандарту SEMI.

Основные особенности

• Технология обнаружения потока, основанная на принципе давления: Принцип измерения расхода использует принцип критического расхода для измерения расхода газа. Входной порт регулятора представляет собой небольшое дроссельное отверстие
• Точность регулирования до ±1,0% П.Ш. (≥ 10% П.Ш.)

• Высокая стабильность: технология датчика расхода, основанная на принципе давления, позволяет снизить чувствительность к большим колебаниям давления газа
• Время ответа менее 0.8 секунды<./li>
• Обработка и шероховатость поверхности в соответствии со стандартом SEMI (электрополировка и электрохимическая полировка)

По всем вопросам приобретения и технической поддержки просим обращаться по электронной почте
sales@mfcsevenstar.ru