Регулятор и измеритель расхода жидкости серии PF200 - современное аналого-цифровое устройство для управления потоком жидкости, обеспечивающее высокую точность и надежность управления и измерения расхода жидкости. Регуляторы серии PF200 поддерживают как цифровые, так и аналоговые сигналы 0–5 В одновременно и питание +24 В постоянного тока или ±15 В постоянного тока. Поддерживают протоколы связи DeviceNet. Стандартный открытый протокол связи упрощает разработку программы управления и сбор данных. Типовое технологическое оборудование и процессы для применения регуляторов расхода жидкости: оборудование для производства интегральных схем, например, эпитаксиальные печи, диффузионные печи, установки химического осаждения из газовой фазы, плазменные травильные установки, системы напыления, установки ионной имплантации; установки для нанесения покрытий, плавки оптического волокна и т. д
Основные особенности
- Изготовлены из нержавеющей стали
- Высокая стабильность потока
- Нормально открытый клапан
По всем вопросам приобретения и технической поддержки просим обращаться по электронной почте
sales@mfcsevenstar.ru
Технические характеристики
|
Модель |
PF200 |
|
|---|---|---|
|
Тип клапана |
Измеритель – без клапана |
Регулятор – нормально открытый |
|
Диапазон |
0.5, 1, 2, 5, 10, 15, 20 г/мин |
|
|
Конструкционные материалы |
Нержавеющая сталь 316L Дополнительно : сплав Hastelloy |
|
|
Вязкость |
Максимальная 0.1Пa·с (100cp) |
|
|
Диапазон измерения |
5…100% П.Ш. |
|
|
Точность |
±0.8% П.Ш. |
|
|
Линейность |
±0.4% П.Ш. |
|
|
Повторяемость |
±0.4% П.Ш. |
|
|
Время отклика |
≤ 800 мс |
|
|
Давление на входе |
150…350 кПа (изб.) |
|
|
Температурный коэффициент |
≤±0.1% П.Ш./℃ (15℃ ≤ температура ≤ 45℃) |
|
|
Давление испытания |
1 МПа (изб) |
|
|
Перепад давления |
Макс. 90 кПа при 23±2℃ |
|
|
Уровень течи |
≤ 5×10-11 Па·м³/c (He) |
|
|
Рабочая температура |
5…50 ℃ |
|
|
Входной и выходной сигнал |
Цифровой : RS485, DeviceNet |
|
|
Источник питания |
+14…+28 В постоянного тока, ±15 В постоянного тока |
|
|
Соединения |
VCR 1/8"; Double Ferrule 1/8" |
|
|
Цифровой интерфейс |
DeviceNet / экранированный микро разъем / RJ12 |
|
|
Вес |
800г (измеритель ) / 1 кг (регулятор ) |
|