РЕГУЛЯТОРЫ РАСХОДА ЖИДКОСТИ

Регуляторы серии PF200 разработаны с учетом применения в научных исследованиях и производстве полупроводников, интегральных схем, специальных материалов.

Промышленные решения для контроля и управления потоками жидкостей

Типовое технологическое оборудование и процессы для применения регуляторов расхода жидкости: оборудование для производства интегральных схем, например, эпитаксиальные печи, диффузионные печи, установки химического осаждения из газовой фазы, плазменные травильные установки, системы напыления, установки ионной имплантации; установки для нанесения покрытий, плавки оптического волокна и т. д.

Регуляторы расхода жидкости

Серия PF200

Регулятор расхода жидкости (LFC) используется для точной подачи, управления и измерения расхода жидкости. Регуляторы серии PF200 разработаны с учетом применения в научных исследованиях и производстве полупроводников, интегральных схем, специальных материалов.