Регуляторы расхода газа (MFC) и измерители потока газа (MFM) серии CS100 являются производными от серии CS и используют такие же технологии. В CS100 применяются датчик постоянной мощности, цифровой датчик баланса и технология коррекции клапана. Также доступна функция коррекции заземления (CGC), что позволяет поддерживать точность работы в самых сложных производственных и лабораторных условиях.
Серия CS100 может быть настроена для питания ± 15 В или + 24 В и управляться как через цифровой интерфейс RS485, так и через аналоговые входы/выходы. Приборы выпускаются в компактном исполнении или стандартном размере SEMI.
Многофункциональное клиентское программное обеспечение входит в стандартную комплектацию каждой модели. Помимо стандартных процедур управления доступны дополнительные функции: калибровка на различные газы, калибровка на различные диапазоны потока, автоматическая калибровка нулевого значения, аварийные сигналы, задержка и плавный запуск.
Основные особенности
- Высокая точность (до ±1,0% от У.З.) и хорошее быстродействие (~ 1 сек.)
- Варианты с металлическим или эластомерным уплотнением
- Цифровое или аналоговое управление
По всем вопросам приобретения и технической поддержки просим обращаться по электронной почте
[email protected]
Технические характеристики
|
Тип |
CS100A |
CS100B |
CS100D |
|||
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Исполнение |
MFC |
MFM |
MFC |
MFM |
MFC |
MFM |
|
Диапазон (N2) |
(0÷5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) см3/мин; (0÷1, 2, 3, 5, 10, 20, 30, 50) л/мин |
(0÷5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300) см3/мин; (0÷1, 2, 3, 5, 10, 20, 30) л/мин |
||||
|
Точность |
±1.0% У.З.* (≥35% П.Ш.**); ±0.35% У.З. (<35% П.Ш.) |
|||||
|
Линейность |
±0.5% П.Ш. |
|||||
|
Повторяемость |
±0.2% П.Ш. |
|||||
|
Время отклика |
≤1 с |
≤1.5 с |
≤1 с |
|||
|
Положение клапана без питания |
нормально закрыт |
без клапана |
нормально закрыт |
без клапана |
нормально закрыт |
без клапана |
|
Перепад давления |
0.05÷0.35 МПа (поток ≤10 л/мин); 0.1÷0.35 МПа (10 л/мин <поток ≤30 л/мин); 0.2÷0.45 МПа (поток >30 л/мин) |
<0.02 МПа |
0.05÷0.35 МПа (поток ≤10 л/мин); 0.1÷0.35 МПа (10 л/мин <поток ≤30 л/мин); 0.2÷0.45 МПа (поток >30 л/мин) |
<0.02 МПа |
0.05÷0.35 МПа (поток ≤10 л/мин); 0.1÷0.35 МПа (10 л/мин <поток ≤30 л/мин) |
<0.02 МПа |
|
Максимальное рабочее давление |
0.45 МПа |
|||||
|
Давление испытания |
3 МПа |
10 МПа |
3 МПа |
3 МПа |
3 МПа |
10 МПа |
|
Температурный коэффициент |
нулевой: ≤±0.05% П.Ш./oC; диапазон: ≤±0.1% П.Ш./ oC |
|||||
|
Уровень течи |
1×10-8 атм. см3/сек (He) |
|||||
|
Материал уплотнения |
Витон |
Металл |
||||
|
Шероховатость поверхности |
25 микродюйм Ra |
|||||
|
Рабочая температура |
(5÷45) oC |
|||||
|
Входной сигнал |
цифровой RS485 или аналоговый (0÷5) В |
нет |
цифровой RS485 или аналоговый (0÷5) В |
нет |
цифровой RS485 или аналоговый (0÷5) В |
нет |
|
Выходной сигнал |
цифровой RS485 или аналоговый (0÷5) В |
|||||
|
Варианты электрического питания |
аналоговый: ±15 В; цифровой: ±15 В или + 24 В |
|||||
|
Варианты разъема с подачей электрического питания |
аналоговый: D-sub 9-pin, D-sub 15-pin цифровой: D-sub 9-pin, 3 male O, D-sub 15-pin (для варианта + 24 В) |
|||||
|
Варианты соединения с газовой линией |
разъемное соединение с торцевым металлическим уплотнением VCR ¼” M; разъемное соединение с обжимным уплотнением металлическим конусом Ø3, Ø6, 1/8”, ¼”; разъемное соединение под пластиковую трубку Ø6×1, Ø5×1.5, Ø4×1*** |
разъемное соединение с торцевым металлическим уплотнением VCR ¼” M |
||||
|
Вес |
1.2 кг |
1 кг |
1.2 кг |
1 кг |
1.2 кг |
1 кг |
* - У.З. Установленное Значение ** - П.Ш. Полная Шкала *** - *** указан внутренний диаметр и толщина стенки, т.е. Ø6×1 соответствует трубке с внешним диаметром 8 мм и внутренним диаметром 6 мм (также обозначается как ø8х6)