Регуляторы давления газа серии PC300 со встроенной функцией регулятора расхода в основном используется при производстве полупроводников, например, в системах контроля давления охлаждающего газа на задней стороне кремниевой пластины. Он подходит для использования гелия, азота, аргона
Основные особенности
- Цифровой регулятор оснащен усовершенствованным и надежным микро-процессором.
- Используется технология двойного управления для достижения высокой производительности, быстрого отклика и высокой точности
- Возможность выбора диапазона давления и потока газа, различных интерфейсов и режима управления и подключения аналогового и цифрового сигнала
- Возможность подключения различных источников питания (+24 В или 15 В).
По всем вопросам приобретения и технической поддержки просим обращаться по электронной почте
sales@mfcsevenstar.ru
Технические характеристики
|
Тип |
PC300 |
|---|---|
|
Диапазон шкалы потока |
10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000 см3/мин |
|
Диапазон шкалы |
10, 20, 50, 100 торр |
|
Режим управления |
вниз по потоку |
|
Точность управления давлением |
±0,2% П.Ш. |
|
Повторяемость |
±0,2% П.Ш. |
|
Время ответа |
<1.0 с |
|
Рабочая температура |
10…50 oC |
|
Тип клапана |
Нормально закрытый |
|
Уровень течи |
<1×10-12 атм. см3/сек (He) |