Качественные регуляторы с широкими возможностями конфигурирования

Серия PC100

В контроллерах давления серии PC100-D используются технологии управления последнего поколения регуляторов для полупроводниковой промышленности, которые обеспечивают высокую точность и надежность регулирования и измерения давления газа. Регулятор PC100-D выполнен с прямым каналом, оснащен пьезорезистивным кремниевым датчиком давления и цифровой системой управления. Поддерживается как цифровой, так и аналоговый (0 ÷ 5 В) сигналы управления. Прибором можно управлять полностью в цифровом режиме или в аналоговом режиме с цифровым мониторингом. Питание прибора однополярное + 15 ÷ 24 В. Серия PC100-D отличается высокой точностью управления, малым временем отклика (< 1 с), коррозионной стойкостью и допускает любую пространственную ориентацию прибора при монтаже. Многофункциональное клиентское программное обеспечение входит в стандартную комплектацию. Открытый протокол обмена данными дает предоставляет широкие возможности по модификации функций управления.

Основные особенности

  • Улучшенная трехпараметрическая технология измерения давления PTS (Pressure - давление, Temperature - температура, Space – объем)
  • Улучшенный дизайн полости установки датчика давления
  • Динамическая технология контроля давления на основе модельных данных. Автоматическое переключение режимов FF-P (фиксированные колебания давления потока) и FP-F (фиксированные колебания давления потока) В соответствии с различными режимами, PC-100 D может изменять параметры регулятора давления с предварительным увеличением или уменьшением напряжения на клапане
  • Температурная компенсация по параметрам текущего давления и температуры
  • Коррозионная стойкость: металлическое уплотнение, пассивация поверхности, PTFE уплотнение клапана

По всем вопросам приобретения и технической поддержки просим обращаться по электронной почте
[email protected]

Технические характеристики

Параметр

Значение

Тип измерения давления абсолютное
Диапазон полной шкалы давления (ПШ*) 1000 тор, 1200 мбар
Давление испытания 3 МПа
Максимальный поток 235 ст.л./мин
Температурный коэффициент нулевой: ≤±0.02% П.Ш.*/оC; диапазон: ≤±0.04% П.Ш./ C
Разрешение по давлению 0.1 тор
Точность поддержания давления ±1.0% У.З.** (≥10% П.Ш.);
±0.2% У.З. (<10% П.Ш.)
Типичное время отклика <1.0 сек
Диапазон рабочих температур 10÷50 оС
Соединение с газовой линией разъемное соединение с торцевым металлическим уплотнением VCR ¼” M
Тип клапана нормально закрытый
Уровень течи 1×10-10 атм. см3/сек (He)
Напряжение питания +15÷+24 В
Потребляемая мощность <4 Вт
Электрический разъем D-sub 9-pin

* - Полная Шкала (П.Ш.)
** - Установленное Значение (У.З.)

Скачать

Top