Качественные РРГ с широкими возможностями конфигурирования

Серия CS330

Регулятор расхода газа и измерители потока серии CS330 - новое поколение приборов для производственного оборудования полупроводниковой промышленности. Модификация серии CS300 для больших потоков газа. Технологическая платформа РРГ CS300 является последним поколением, разработанным специально для крупномасштабных заводов для производства полупроводников.

Основные особенности

  • Высокая точность измерений и быстрый отклик
  • Точность CS300 улучшена до ± 1% от П.Ш., время отклика менее 1 сек.

  • Металлические уплотнения и высокая чистота сборки
  • В РРГ CS300 применяется особая технология обработки поверхности металла. Регуляторы изготовлены из нержавеющей стали 316 VV. Шероховатость поверхности, согласно требованиям стандартов SEMI, составляет менее 5 Ra (вариант C).

  • Совместимые интерфейсы
  • РРГ CS300 может быть сконфигурирован с одним из двух стандартных вариантов питания: двуполярный источник питания ± 8…± 16 В и однополярный источник питания + 14…+ 28 В. Доступны входные/выходные аналоговые сигналы или цифровые интерфейсы RS-485 или DeviceNet™.

  • Дополнительные функции
  • Многофункциональное клиентское программное обеспечение c дополнительными функциями: калибровка на различные газы, калибровка на различные диапазоны потока, автоматическая калибровка нулевого значения, аварийные сигналы, задержка и плавный запуск.


По всем вопросам приобретения и технической поддержки просим обращаться по электронной почте
[email protected]

Технические характеристики

Тип

CS330 С(D)

Исполнение

MFC

MFM

Диапазон (N2)

(100, 200) ст.л. /мин

Точность

±1.0% П.Ш.* (>35% П.Ш.)
±0.35% П.Ш. (≤35% П.Ш.)

Линейность

±0.5% П.Ш.

Повторяемость

±0.2% П.Ш.

Время отклика

≤1 сек

Положение клапана без питания

Нормально закрыт или нормально открыт

Без клапана

Перепад давления

100 ÷ 300 кПа (50<поток≤100 ст.л./мин)
200 ÷ 300 кПа(100<поток≤200 ст.л./мин)

Температурный коэффициент

нулевой: ≤±0.05% П.Ш./°С;
длительный: ≤±0.1% П.Ш./°С

Максимальное рабочее давление

1 МПа

Давление испытания

3 МПа (435 psig)

Дрейф нуля

<0.6% П.Ш./год без автоматической калибровки нулевого значения

Уровень течи

5·10-12 Па·м3/сек (He)

Материал уплотнения

Металл

Шероховатость поверхности

Ra 5 для варианта С, Ra 25 для варианта D

Обработка поверхности

Электрополировка (только вариант С)

Рабочая температура

(0÷50) oС

Входной сигнал

цифровой: RS485 или DeviceNet™
аналоговый: (0÷5) В или (4÷20) мА или (0÷20) мА

Нет

Выходной сигнал

цифровой: RS485 или DeviceNet™
аналоговый: (0÷5) В или (4÷20) мА или (0÷20) мА

Варианты электрического питания

±8÷±16 В постоянного тока или +14÷+28 В постоянного тока (400 мА)

Варианты разъема с подачей электрического питания

D-sub 9-pin, D-sub 15-pin, DeviceNet™

Варианты соединения с газовой линией

разъемное соединение с торцевым металлическим уплотнением VCR 1/2"

Вес

2.6 кг

1.5 кг



* - Полная Шкала (П.Ш.)


Скачать

Top