Регуляторы расхода газа

Качественные РРГ с широкими возможностями конфигурирования

Серия CS300

Регулятор расхода газа и измерители потока серии CS300 - новое поколение приборов для производственного оборудования полупроводниковой промышленности. Технологическая платформа РРГ CS300 является последним поколением, разработанным специально для крупномасштабных заводов для производства полупроводников.
Регуляторы CS300 обладают функцией компенсации давления на основе DF алгоритма и высоким уровнем финишной обработки внутренней поверхности. РРГ CS300 соответствуют стандарту SEMI и выпускаются с 1.125-дюймовыми уплотнениями IGS W и C-seal (вариант 310) или уплотнениями 1.5 дюйма (вариант 320).


Основные особенности

  • Высокая точность измерений и быстрый отклик

    • Точность CS300 улучшена до ± 0.8% от П.Ш., самые современные модели имеют время отклика менее 0.5 сек.

  • Минимальный дрейф нуля

    • Новая технология сенсора обеспечивает высокую температурную и временную стабильность. Без усилителя с автоматической установкой нуля ожидаемый дрейф нуля составляет менее 0,6% П.Ш./год, а температурный коэффициент составляет менее 0.02% П.Ш./°С (нулевой), 0.05% П.Ш./°С(диапазон).

  • Металлические уплотнения и высокая чистота сборки

    • В РРГ CS300 применяется особая технология обработки поверхности металла. Регуляторы изготовлены из нержавеющей стали 316 VV. Шероховатость поверхности, согласно требованиям стандартов SEMI, составляет менее 5 Ra (вариант C).

  • Совместимые интерфейсы

    • РРГ CS300 может быть сконфигурирован с одним из двух стандартных вариантов питания: двуполярный источник питания ± 8…± 16 В и однополярный источник питания + 14…+ 28 В. Доступны входные/выходные аналоговые сигналы или цифровые интерфейсы RS-485 или DeviceNet™ со стандартными разъемами SEMI.

  • Дополнительные функции

    • Многофункциональное клиентское программное обеспечение c дополнительными функциями: калибровка на различные газы, калибровка на различные диапазоны потока, автоматическая калибровка нулевого значения, аварийные сигналы, задержка и плавный запуск.


По всем вопросам приобретения и технической поддержки просим обращаться по электронной почте
[email protected]

Технические характеристики

Тип

CS310 С(D)

CS320 С(D)

Исполнение

MFC

MFM

MFC

MFM

Положение клапана без питания

Нормально закрыт или нормально открыт

Нет

Нормально закрыт или нормально открыт

Нет

Диапазон (N2)

(0÷1, 2, 3, 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ст.см3/мин

(0÷1, 2, 3, 5, 10, 20, 30) ст.л./мин

Точность

±1.0% У.З.* (≥35% П.Ш.**) (опционально ±0.80% У.З. (≥30% П.Ш.))
±0.35% П.Ш. (<35% П.Ш.) (опционально ±0.24% П.Ш. (<30% П.Ш.))

Линейность

±0.5% П.Ш.

Повторяемость

±0.2% П.Ш.

Время отклика

≤0.8 сек (опционально ≤0.5 сек)

Перепад давления

0.05÷0.35 МПа
(поток ≤10 ст.л./мин)

0.15～0.35 МПа
(поток >10 ст.л./мин)

<0.02 МПа

0.05÷0.35 МПа
(поток ≤10 ст.л./мин)

0.15～0.35 МПа
(поток >10 ст.л./мин)

<0.02 МПа

Температурный коэффициент

нулевой: ≤±0.02% П.Ш./°С; длительный: ≤±0.05% П.Ш./°С

Давление испытания

3.5 МПа (435psig)

Уровень течи

1×10-11 Па·м3/сек (He)

Материал уплотнения

Металл

Максимальное рабочее давление

0.45 МПа

Рабочая температура

(0÷50) oС

Входной сигнал

Цифровой: RS485 или DeviceNetTM
Аналоговый: 0÷5 В

Нет

Цифровой: RS485 или DeviceNetTM
Аналоговый: 0÷5 В

Нет

Выходной сигнал

Цифровой: RS485 или DeviceNetTM
Аналоговый: 0÷5 В

Дрейф нуля

<0.6% П.Ш./год без автоматической калибровки нуля

Варианты электрического питания

±8÷±16 В постоянного тока или +14÷+28 В постоянного тока

Химический состав поверхности

соотношение Cr/Fe >2.0; толщина CrO >20 Ангстрем (нормируется только для варианта C)

Шероховатость поверхности

Ra 5 для варианта C, Ra 25 для варианта D

Варианты соединения с газовой линией

VCR1/4” M；
1.125″C Type
1.125″W Type

1.5″B
1.5″C
1.5″W

Варианты разъема с подачей электрического питания

D-sub 9-pin, D-sub 15-pin, DeviceNet™

Вес

1 кг

0.8 кг

1.2 кг

1 кг




* - Установленное Значение (У.З.)
** - Полная Шкала (П.Ш.)

Скачать

Top