Регулятор расхода газа серии CS200-H – это цифровой высокотемпературный регулятор расхода газа. Его электрические и механические компоненты размещены в двух отдельных блоках, соединенных высокотемпературным кабелем для обеспечения измерений и управления при высокой температуре. Регулятор способен работать в сложных и изменчивых условиях производственной среды полупроводниковой промышленности.
Основные особенности
- Рабочая температура блока регулятора расхода газа: 90~120 °С
- Высокая точность управления: ±1,0% П.Ш. (≥35%П.Ш.)
- Быстрый отклик: время отклика ≤ 0.8 с
- Компенсация изменения температуры на основе принципа постоянной мощности устраняет явление дрейфа нуля
- Изготовлен из нержавеющей стали 316LVV
- Специальная технология обработки поверхности, обеспечивающая шероховатость поверхности Rа10
- Широкий диапазон напряжения питания, цифровых и аналоговых входов и выходов, использование стандартных интерфейсов RS485 и DeviceNet
- Соответствие международному стандарту SEMI
По всем вопросам приобретения и технической поддержки просим обращаться по электронной почте
[email protected]
Технические характеристики
|
Тип |
CS200H |
|
|---|---|---|
|
Исполнение |
MFC |
MFM |
|
Диапазон (N2) |
(0÷5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) см3/мин; (0÷1, 2, 3, 5, 10, 20, 30) л/мин |
|
|
Точность |
±1.0% П.Ш.* (>35% П.Ш.) |
|
|
Линейность |
±0.5% П.Ш. |
|
|
Повторяемость |
±0.2% П.Ш. |
|
|
Время отклика |
≤1 сек |
|
|
Положение клапана без питания |
Нормально закрыт |
Без клапана |
|
Перепад давления |
0.05÷0.35 МПа при потоке ≤10 л/мин 0.1÷0.35 МПа при потоке >10 л/мин |
<0.02 МПа
|
|
Максимальное рабочее давление |
0.45 МПа |
|
|
Давление испытания |
3 МПа (435 psig) |
|
|
Температурный коэффициент |
нулевой: ≤±0.1% П.Ш./°С; |
|
|
Дрейф нуля |
<0.6% П.Ш./год без автоматической калибровки нулевого значения |
|
|
Уровень течи |
1 x 10-11 Па·м3/сек (He) |
|
|
Материал уплотнения |
Металл |
|
|
Рабочая температура |
Регулятор расхода газа: 90÷120 ℃, Блок управления: 0÷50 ℃ |
|
|
Входной сигнал |
цифровой: RS485 или DeviceNet™ |
Нет |
|
Выходной сигнал |
цифровой: RS485 или DeviceNet™ |
|
|
Варианты электрического питания |
±8÷±16 В постоянного тока или +14÷+28 В постоянного тока |
|
|
Варианты разъема с подачей электрического питания |
D-sub 9-pin, D-sub 15-pin, DeviceNet™ |
|
|
Варианты соединения с газовой линией |
зажимное соединение Ø6×1**, зажимное соединение 1/4” VCR 1/4”, соединения типа 1.5” С, 1.5” W |
|
|
Вес |
1.2 кг |
1.0 кг |
|
Шероховатость поверхности |
Ra 10 |
|
|
Химический состав поверхности |
Cr/Fe ≥2.0, толщина покрытия CrO ≥20 Å (ангстрем) |
|
|
Длина высокотемпературного кабеля |
2 м |
|
* - Полная Шкала (П.Ш.)
** - Указан внутренний диаметр и толщина стенки, т.е. Ø6×1 соответствует трубке с внешним диаметром 8 мм и внутренним диаметром 6 мм (также обозначается как ø8х6)