Регуляторы расхода газа (MFC) и измерители потока газа (MFM) серии CS200 оснащены улучшенным датчиком потока газа, технологией температурной компенсации и используют усовершенствованную систему управления. Среднее время отклика для данных моделей составляет 800 мс, что сводит к минимуму любые системные ошибки в технологическом процессе.
Основные особенности
- Высокая точность (до ±1.0% от У.З.) и быстродействие (~ 0.8 сек.)
- Новая технология сенсора обеспечивает высокую температурную и временную стабильность. Без автоматической калибровки нуля, ожидаемый дрейф составляет менее 0.6% П.Ш./год, а температурный коэффициент составляет менее 0.02% П.Ш./°С
- Варианты с металлическим или эластомерным уплотнением
- Проточный канал линейного преобразователя РРГ CS200 изготовлен из нержавеющей стали с пассивированной поверхностью. Сборка изделий производится в сверхчистых помещениях класса 100 в соответствии со стандартами SEMI и ISO 9001
- Широкий выбор аналоговых и цифровых интерфейсов
- Широкий выбор вариантов питания и встроенная система стабилизации напряжения питания
- Многофункциональное клиентское программное обеспечение c дополнительными функциями: калибровка на различные газы, калибровка на различные диапазоны потока, автоматическая калибровка нулевого значения, аварийные сигналы, задержка и плавный запуск
По всем вопросам приобретения и технической поддержки просим обращаться по электронной почте
[email protected]
Технические характеристики
|
Тип |
CS200A |
CS200С |
CS200D |
|||
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Исполнение |
MFC |
MFM |
MFC |
MFM |
MFC |
MFM |
|
Диапазон (N2) |
(0÷5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) см3/мин; (0÷1, 2, 3, 5, 10, 20, 30, 50) л/мин |
|||||
|
Точность |
±1.0% У.З.* (≥35% П.Ш.**); ±0.35% У.З. (<35% П.Ш.) |
|||||
|
Линейность |
±0.5% П.Ш. |
|||||
|
Повторяемость |
±0.2% П.Ш. |
|||||
|
Время отклика |
≤1 с |
≤0.8 с (SEMI E17-0600) |
||||
|
Положение клапана без питания |
нормально закрыт или нормально открыт (П.Ш. ≤30 л/мин) |
без клапана |
нормально закрыт или нормально открыт (П.Ш. ≤30 л/мин) |
без клапана |
нормально закрыт или нормально открыт (П.Ш. ≤30 л/мин) |
без клапана |
|
Перепад давления |
0.05÷0.35 МПа (поток ≤10 л/мин); 0.1÷0.35 МПа (10 л/мин <поток ≤30 л/мин); 0.2÷0.45 МПа (поток >30 л/мин) |
<0.02 МПа |
0.05÷0.35 МПа (поток ≤10 л/мин); 0.1÷0.35 МПа (поток >10 л/мин) |
<0.02 МПа |
0.05÷0.35 МПа (поток ≤10 л/мин); 0.1÷0.35 МПа (поток >10 л/мин) |
<0.02 МПа |
|
Максимальное рабочее давление |
0.45 МПа |
|||||
|
Давление испытания |
3 МПа |
|||||
|
Температурный коэффициент |
нулевой: ≤±0.05% П.Ш./oC; диапазон: ≤±0.1% П.Ш./ oC (поток ≤30 л/мин); диапазон: ≤±0.2% П.Ш./ oC (поток >30 л/мин) |
нулевой: ≤±0.02% П.Ш./oC; диапазон: ≤±0.05% П.Ш./ oC (поток ≤30 л/мин) |
||||
|
Дрейф нуля |
<0.6% П.Ш./год без автоматической калибровки нулевого значения |
|||||
|
Уровень течи |
1×10-9 атм. см3/сек (He) |
|||||
|
Материал уплотнения |
Витон |
Металл |
||||
|
Шероховатость поверхности |
25 Ra |
10 Ra |
25 Ra |
|||
|
Рабочая температура |
(5÷45) oC |
(0÷50) oC |
||||
|
Входной сигнал |
цифровой: RS485 или DeviceNet™ или ProfiBus; аналоговый: (0÷5) В или (4÷20) мА или (0÷20) мА |
нет |
цифровой: RS485 или DeviceNet™ или ProfiBus; аналоговый: (0÷5) В или (4÷20) мА или (0÷20) мА |
нет |
цифровой: RS485 или DeviceNet™ или ProfiBus; аналоговый: (0÷5) В или (4÷20) мА или (0÷20) мА |
нет |
|
Выходной сигнал |
цифровой: RS485 или DeviceNet™ или ProfiBus; аналоговый: (0÷5) В постоянного тока или (4÷20) мА или (0÷20) мА |
|||||
|
Варианты электрического питания |
±8÷±16 В постоянного тока или +14÷+28 В постоянного тока (400 мА) |
|||||
|
Варианты разъема с подачей электрического питания |
D-sub 9-pin, D-sub 15-pin, DeviceNet™, ProfiBus |
|||||
|
Варианты соединения с газовой линией |
разъемное соединение с торцевым металлическим уплотнением VCR ¼” M; разъемное соединение с торцевым резиновым уплотнением VCO ¼” M; разъемное соединение с обжимным уплотнением металлическим конусом Ø3, Ø6, Ø10, 1/8”, ¼”,3/8”; разъемное соединение под пластиковую трубку Ø6×1, Ø5×1.5, Ø4×1***; уплотнение A-seal |
разъемное соединение с торцевым металлическим уплотнением VCR ¼” M; разъемное соединение с обжимным уплотнением металлическим конусом Ø3, Ø6, ¼”; уплотнение W-seal и C-seal |
разъемное соединение с торцевым металлическим уплотнением VCR ¼” M; разъемное соединение с обжимным уплотнением металлическим конусом Ø3, Ø6, ¼”; уплотнение W-seal и C-seal |
|||
|
Вес |
1 кг |
0.8 кг |
1.2 кг |
1 кг |
1.2 кг |
1 кг |
* - Установленное Значение (У.З.)
** - Полная Шкала (П.Ш.)
*** - Указан внутренний диаметр и толщина стенки, т.е. Ø6×1 соответствует трубке с внешним диаметром 8 мм и внутренним диаметром 6 мм (также обозначается как ø8х6)